对于ATE而言，较为简单易行的电容测量方法是恒流放（充）电，或是恒压充（放）电的方法：
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1. 恒流放电
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因为Q = C*V = I*T，所以C = I*T/V。用ATE的driver将电容充到某一电压后，关断driver，利用可编程的Isink为电容放电，通过comparator比较，多次search获取时间。
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2. 恒压充电（RC时间常数法）
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在电容上串联一个电阻到driver（也可只利用driver的输出电阻，视情况而定），在某一时刻driver给出一个电压上升；在被测电容与电阻的连接点用另一通道search电容上的电压变化，取得时间常数并计算C。
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以上两种做法的优点是在ATE上简单易行--两者都只需用到ATE上常规的数字通道，以及基于search的时间测量功能；另外可以测从几十pF到几百uF的大范围的容值。缺点是精度有限，往往须做校正，比如，RC法的实际计算式为C = A*1/R*T + B，这里A与B分别是对直线的斜率与零位偏移的校正，其中A需用标准电容校正，B可以用开路校正。
( r7 p3 t. e3 U此外在设计测试参数时可以做一些简单的理论计算，比如对于恒流放电法有，
) M: e8 L; F8 s- NdC = T/V * dI + I/V * dT - I*T/V^2 * dV
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| dC | < T/V * dI + I/V * dT + I*T/V^2 * dV = C/I * dI + C/T * dT + C/V * dV
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在ATE上，一般上式第三项比前两项要小些。在V一定的情况下，前两项的IT相互关联，在此基础上可以进一步计算出I与T之间的一个最佳平衡点，使得C的误差较小。
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除了上述方法之外，另有一些交流方法，比如自动平衡（auto-balancing）法。
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这是一个通用的低频交流小信号测量阻抗的方法，优点是精度高，更可排除并联电容的影响。一些低端的LCR meter中用单运放实现了这样的自动平衡电桥，而高端的LCR meter则要复杂得多（可参见US patent #6956380，应用于Agilent的一些LCR meter中）。
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在ATE上的一般的电容测量，可用单运放实现电路（实际上高端LCR meter中的那堆东西也不是一般人随便能搭出来的）。不过对于测容值过大的电容，因为运放输入电容太大将导致极点向低频方向移动，从而限制了AC频率（为保证运放响应的线性，AC频率更是远低于极点频率）。另外，AWG发生的信号中不可避免的有高次谐波，其在极点附近可能使运放输出端电压峰峰值偏离预期，这种情况下可利用ATE的FFT或DFT功能仅获得AC频率上的电压幅度，排除其它频率上的干扰。
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* z/ U$ i5 b6 r一些网上资料：
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http://www.pupman.com/listarchives/1998/April/msg00625.html
. G* h1 k) G0 NAglient Impedance Measurement Handbook
